来自MSN1 个月
远超EUV光刻技术！由美国研发的新一代激光器要来了！
据相关报道，LLNL研发的这款激光器采用了大孔径铥(BAT：Big Aperture Thulium)激光技术。与当前行业标准的二氧化碳(CO2)激光器相比，这一技术有望将EUV ...