EUV光刻机也是历史上最复杂、最昂贵的机器之一。《芯片浪潮：纳米工艺背后的全球竞争》一书中有描述：一台EUV光刻机的零件超过10万个，重达180吨，需要用40个集装箱来运输，光刻机的安装调试都要超过一年时间。阿斯麦在刚开始时只能年产二三十台EUV光刻机，到目前也不过增加到四五十台。

时间拨回到2002年，荷兰光刻机巨头ASML尚未做到一家独大，台积电也才刚刚在全球十大半导体厂的门口徘徊。 （编按：ASML近日交付第三代EUV光刻机，将用于生产先进制程芯片，据悉来年可生产3纳米以至2纳米芯片。） ...

【新智元导读】美国计划推出更严格的出口管控措施，限制台积电、三星、英特尔等代工厂向中国出口包含超过300亿晶体管的先进处理器，而荷兰则收紧对ASML高端光刻机的出口许可要求。这些新规旨在阻止中国获取尖端半导体技术。

荷兰政府周三表示，将从4月1日起扩大对先进半导体设备的出口管制。晶片制造设备供应商艾司摩尔 (ASML)说，预计不会影响公司业务。 在美国的管制中国出口压力下，荷兰在2023年首次导入半导体设备出口的国家许可证要求，随后数次扩大该要求范围。